La micro-nano technologie : introduction aux procédés

Public concerné :

•  Tout public

Durée :

•   2.5 jours

Date/lieux :

•  Nous consulter
•  Non défini

Equipe pédagogique :

•  M. Woytasik, G. Agnus, P. Lecoeur, J.-L. Perrossier, Ch. Renard

Approche pédagogique :

•  Cours théoriques

Renseignement pédagogique :

•  Agnus Guillaume
•  guillaume.agnus@u-psud.fr

Frais de participation individuels :

•  1000 € HT

Renseignements et inscriptions :

•  Inscription : Service de Formation Continue de PARIS SUD
•  Tél : +33(0) 01 69 15 78 88
•  Fax : +33(0) 01 69 15 55 95
•  Email : formation.continue@u-psud.fr
•  Date limite d'inscription : 1 mois avant

Nombre de places limitées :

•  Min/Max : 5 à 10 personnes

Prérequis :

• aucun

Compétences acquises :

• A l'issue de cette formation, le stagiaire sera capable d'énumérer et de distinguer les différentes domaines des micro et nano technologies

Programme :

• Environnement salle blanche : Contamination et zones à atmosphères contrôlées. Salles blanches et filtration des fluides
• Initiation au vide : Les gaz et la pression, les pompes, les fuites, le dégazage
• Elaboration de couches minces : PVD, CVD : principes des techniques
 et influence sur les propriétés physiques
• La lithographie optique : Les résines, leurs paramètres importants. La photolithographie : les différents modes d'insolation, la résolution…
• Les techniques de gravure : La gravure physique, plasma et humide

Validation :

Cette formation constitue une action d’adaptation et de développement des compétences. Elle donne lieu à la délivrance d’une attestation de participation. Une évaluation de fin de formation permet de mesurer la satisfaction des stagiaires, notamment concernant l’atteinte des objectifs pédagogiques.